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超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)
由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺(tái)是一款三維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它是專為超低溫、真空及無(wú)磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計(jì),可進(jìn)行XYZ三維掃描運(yùn)動(dòng),采用低溫壓電驅(qū)動(dòng),耐低溫可達(dá)4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無(wú)磁材料,采用低溫雙絞線,以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。
超低溫真空無(wú)磁壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)
· 低溫真空無(wú)磁,耐低溫可達(dá)4K
· XYZ三維運(yùn)動(dòng)
· 4K溫度下位移達(dá)30μm/軸
· 分辨率可達(dá)2nm
· 開環(huán)運(yùn)動(dòng)控制
· 響應(yīng)速度快
產(chǎn)品應(yīng)用
· 半導(dǎo)體檢測(cè)
· 高精密測(cè)試和操作
· 其他真空無(wú)磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等
技術(shù)參數(shù)